Er zijn veel bereidingsmethoden voor dunne film van amorf silicium zonnepanelen . Deze omvatten reactief sputteren, PECVD, LPCVD, enz. Het reactiegas is siH4 verdund met H2. De substraten zijn voornamelijk glas- en roestvaststalen platen, en de non-grade siliciumfilms die daarvan zijn gemaakt, kunnen worden gebruikt om respectievelijk single junction-cellen en tandem-zonnecellen te verkrijgen via verschillende celprocessen.

Zonnecellen van amorf silicium hebben een groot potentieel vanwege hun hoge conversie-efficiëntie, lage kosten en lichtgewicht. Maar tegelijkertijd heeft het vanwege zijn lage stabiliteit direct invloed op de praktische toepassing ervan. Als het het stabiliteitsprobleem verder kan oplossen en de conversieratio kan verbeteren. Dan zijn zonnecellen van amorf silicium ongetwijfeld een van de belangrijkste ontwikkelingsproducten van zonnecellen.

Multi-compound dunne-film zonnecellen Om een ​​vervanging te vinden voor monokristallijne siliciumcellen, heeft men naast polykristallijne silicium en amorfe silicium dunne-film zonnecellen zonnecellen van andere materialen ontwikkeld. Deze omvatten voornamelijk verbindingen uit de galliumarsenide III-V-groep, cadmiumsulfide, cadmiumtelluride en koper-indiumselenide dunne-filmbatterijen. Van de bovengenoemde batterijen, hoewel de efficiëntie van cadmiumtelluride en cadmiumsulfide polykristallijne dunne-filmbatterijen hoger is dan die van dunne-filmzonnecellen van amorf silicium, zijn de kosten lager dan die van siliciumbatterijen voor één product, en het is gemakkelijk om massaproductie, maar omdat cadmium zeer giftig is, zal het ernstige vervuiling van het milieu veroorzaken, daarom is het niet de meest ideale vervanging voor zonnecellen van kristallijn silicium. Galliumarsenide III-V-verbindingen en koper-indiumselenide dunne-filmbatterijen hebben veel aandacht gekregen vanwege hun hoge conversie-efficiëntie.